除振装置のアクティブ制御

　住友重機械工業�� 様

■一般に、低振動環境を作り出すために、防振ゴムや空気ばね等が使用されています。しかし、半導体露光装置やレーザー加工機等、特に高精密加工や計測を要求するとき、外乱振動や装置自身の振動が大きな問題となります。そこで、この様な精密機器類の高制度化を確保するために、アクティブ振動制御手法による除振装置の実験システムを用いて研究開発を行っています。